重大突破!芯片光刻胶关键技术被攻克:原材料全部国产 配方全自主设计
快科技10月25日消息,重大自主据华中科技大学官微消息,突破近日,芯片该校武汉光电国家研究中心团队,光刻攻克在国内率先攻克合成光刻胶所需的胶关键技原料和配方,助推我国芯片制造关键原材料突破瓶颈。术被设计
据介绍,原材其研发的料全T150A光刻胶系列产品,已通过半导体工艺量产验证,部国实现了原材料全部国产,产配配方全自主设计,重大自主有望开创国内半导体光刻制造新局面。突破
公开资料显示,芯片光刻胶是光刻攻克一种感光材料,用于芯片制造的胶关键技光刻环节,工作原理类似于照相机的胶卷曝光。芯片制造时,会在晶圆上涂上光刻胶,在掩膜版上绘制好电路图。
当光线透过掩膜版照射到光刻胶上会发生曝光,经过一系列处理后,晶圆上就会得到所需的电路图。
由于光刻胶是芯片制造的关键材料,国外企业对其原料和配方高度保密,目前我国所使用的光刻胶九成以上依赖进口。
武汉光电国家研究中心团队研发的这款半导体专用光刻胶对标国际头部企业主流KrF光刻胶系列。
相较于国外同系列某产品,T150A在光刻工艺中表现出的极限分辨率达到120nm,且工艺宽容度更大、稳定性更高、留膜率更优,其对刻蚀工艺表现更好,通过验证发现T150A中密集图形经过刻蚀,下层介质的侧壁垂直度表现优异。
团队负责人表示:“以光刻技术的分子基础研究和原材料的开发为起点,最终获得具有自主知识产权的配方技术,这只是个开始。我们团队还会发展一系列应用于不同场景下的KrF与ArF光刻胶,致力于突破国外卡脖子关键技术,为国内相关产业带来更多惊喜。”
(责任编辑:综合)
-
联通大数据公司成立混改方案或在11月份“通关”备受关注的中国联通混改进程近日再添新消息。中国联通董事长王晓初在联通大数据有限公司揭牌成立暨产品发布仪式上接受媒体采访时表示,中国 ...[详细]
-
新一代音乐手机vivo Y300亮相:三扬声器超强外放,音量提升600%
新酷产品第一时间免费试玩,还有众多优质达人分享独到生活经验,快来新浪众测,体验各领域最前沿、最有趣、最好玩的产品吧~!下载客户端还能获得专享福利哦!近日,智能手机市场迎来了一位重量级选手——vivo ...[详细] -
网信办5月2日发布互联网新闻信息服务管理规定,《互联网新闻信息服务管理规定》已经国家互联网信息办公室室务会议审议通过,现予公布,自2017年6月1日起施行。规定指出,互联网新闻信息服务提供者 ...[详细]
-
东方甄选:免去孙东旭CEO职务 任免通知没盖章遭质疑 主播曾称网友买不起蛋黄酥
12月16日,东方甄选发布公告称,经东方甄选董事会决定:董事长俞敏洪兼任东方甄选CEO职务,免去孙东旭的东方甄选执行董事、CEO职务,即日生效。据中新经纬报道,中新经纬发现,东方甄选发布的任免通知没盖 ...[详细] -
据深交所公告,因恒生综合大型股指数、恒生综合小型股指数实施成份股调整,根据《深圳证券交易所深港通业务实施办法》的有关规定,港股通股票名单发生调整并自今日起生效,中国宏桥、酷派集团遭调出港股 ...[详细]
-
周二早间,沪指低开窄幅震荡。此前表现强势的上证50出现小幅回落,但有色、煤炭等表现强势。其中有色板块早间大涨2.44%,其中的和胜股份、寒锐钴业、翔鹭钨业涨停,此外还有中金林南、天齐锂业等1 ...[详细]
-
今年3月份以来,伴随着蒜薹价格持续走低,甚至蒜农需要花钱雇佣人力将自家蒜地里的蒜薹抽出来,免费送人,有蒜农则直接将其倒入田边水沟。《中国经济周刊》记者实地走访山东金乡和江苏邳州等大 ...[详细]
-
新酷产品第一时间免费试玩,还有众多优质达人分享独到生活经验,快来新浪众测,体验各领域最前沿、最有趣、最好玩的产品吧~!下载客户端还能获得专享福利哦!近日,深蓝汽车正式发布了其全新大型SUV车型——深蓝 ...[详细]
-
真我Neo7正式发布:7000mAh泰坦电池 售价2099元起
新酷产品第一时间免费试玩,还有众多优质达人分享独到生活经验,快来新浪众测,体验各领域最前沿、最有趣、最好玩的产品吧~!下载客户端还能获得专享福利哦!12月11日下午,真我Neo系列独立后首款旗舰机型— ...[详细] -
新酷产品第一时间免费试玩,还有众多优质达人分享独到生活经验,快来新浪众测,体验各领域最前沿、最有趣、最好玩的产品吧~!下载客户端还能获得专享福利哦!近日,方程豹汽车正式官宣了其全新的钛系列车型,标志着 ...[详细]